科研实验室

微机电系统与精密测控实验室

描述:

微机电系统与精密测控实验室，主要研究方向是微机械谐振器件和传感器件的设计加工、微纳传感器的超精密测量表征技术、柔性传感器和驱动器、力位传感和控制。